compiler error Error 193

Compiler Aarch64

makefile

start.o: start.S
    aarch64-elf-gcc $(CFLAGS) -c start.S -o start.o

error output

aarch64-elf-gcc -Wall -O2 -ffreestanding -nostdinc -nostdlib -nostartfiles -c start.S -o start.o
process_begin: CreateProcess(C:\rpi-eclipse\gcc-linaro-7.3.1-2018.05-i686_aarch64-elf\bin\aarch64-elf-gcc, aarch64-elf-gcc -Wall -O2 -ffreestanding -nostdinc -nostdlib -nostartfiles -c start.S -o start.o, ...) failed.
make (e=193): Error 193
make: *** [start.o] Error 193

Compiler errorがでます。
予想では、assennbly fileのコンパイルが64bitに対応してしていないのかと推定しています。